Нелинейность характеристики преобразования индуктивного датчика - аналог
схемной составляющей погрешности у головок типа МИГ, ИГ и др. Нелинейность порядка
0,2% у преобразователей типа GT43 фирмы TESA при рабочем диапазоне ±1 мм вызывает
погрешность 2мкм, при рабочем диапазоне ±5мм - погрешность 10мкм и так далее
(следует отметить, что в диапазоне ±10мкм нелинейность характеристики уже не
играет существенной роли - она вносит погрешность 0,02мкм - здесь основной вклад
в полную погрешность вносит уже вариация и размах показаний). Вместе с тем не
стоит забывать о том, что 0,2% - это величина, которая достигается либо использованием
дорогостоящего специализированного оборудования (фирмы Slumberger, Tesa, Mitutoyo,
Mahr), либо использованием ручного труда (завод «Измерон»), что не столь дорого,
но не позволяет выпустить сколько-нибудь значительную серию приборов. Нормальной
величиной является нелинейность от 0,5-1% для рабочего хода ±1мм до 10% для
рабочего хода ±15мм.
Поскольку преобразователь не является средством измерений, а только частью измерительного
канала, то предлагается следующий подход: магнитная система преобразователей
выполняются «как есть», т.е. с любыми разумными коэффициентом преобразования
и нелинейностью характеристики, а затем, во вторичном электронном устройстве
производится калибровка (линеаризация) характеристики (таким путем идет фирма
«Робокон», г. Москва - измерительная техника для подшипниковой промышленности
и НИИизмерения). Это, разумеется, не обеспечивает взаимозаменяемости преобразователей
без повторной калибровки, но такая взаимозаменяемость нужна только в случае,
когда преобразователь используется совместно с блоком индикации в качестве индикаторной
головки - это редкий случай, поскольку экономически нецелесообразный. Другой
подход к этой проблеме заключается в том, что в разъеме преобразователя размещается
микросхема ПЗУ с записанной калибровочной таблицей (фирма «Промтрансавтоматика»,
Санкт-Петербург) - это делает преобразователи полностью взаимозаменяемыми. Справедливости
ради отметим, что стоимость разъема типа DB9 вместе с ПЗУ не превосходит стоимости
разъема РС7, обычно используемого с индуктивными преобразователями линейных
перемещений.
Преобразователи мод. М-022А и М-023А
дополнительно оснащены перепрограммируемым ПЗУ, содержащем калибровочную таблицу
(до девяти точек калибровки). ПЗУ размещено в кабельной части разъема.